国内首条8英寸集成电路装备验证工艺线开工

2018-09-28 浏览次数：0

国内首条8英寸集成电路装备验证工艺线在长沙高新区正式开工。该项目将助力长沙打造全国集成电路产业技术创新中心、市场应用中心、合作示范区，促进国产装备全面提升，实现集成电路装备自主可控。湖南省委常委、长沙市委书记胡衡华，长沙市委常委、湖南湘江新区党工委副书记、管委会主任张迎春，长沙市委常委、市委秘书长夏建平等省市领导出席见证。

军民融合8英寸集成电路装备验证工艺线项目总投资25亿元，占地面积183亩、总建筑面积12.7万平方米。项目以中国电子科技集团公司第四十八研究所为实施主体，主要建设一条8英寸集成电路装备验证工艺线，打造国家集成电路装备创新中心，建立并提供装备技术标准，为国内提供标准化集成电路装备，并为军民用芯片提供可信代工。

项目一期建成后将提供同时20台套设备在线的验证能力，年验证能力超40台。在此基础上，项目二期将进一步完善发展，形成12英寸集成电路装备的验证能力。项目预计2021年竣工投产，达产后预计年产值超过10亿元。

“该项目以整线工艺验证的模式替代过去的单台验证模式，彻底打通设备研制与工艺需求之间的通道，减少设备的开发周期和成本，推动集成电路装备的可持续发展。”中国电子科技集团公司第四十八研究所党委副书记、副所长孙勇说，该项目也是中国电科与湖南省、长沙市共同落实国家军民融合战略的强强联合。